等静压石墨详解(3)

石墨化后,制品的体积密度、导电率、导热率及抗腐蚀性能得到很大程度的改善,机械加工性能也得到了改善(www.qamf.cn)。但是,石墨化会降低制品的抗折强度。

1.9检查

石墨化后,还需要对制品的密度、硬度、强度、电阻率、灰分等指标进行检查,以判断是否达到指标要求。

1.10提纯

等静压石墨在用于半导体、单晶硅、原子能等领域时,对纯度的要求很高,必须用化学方法将杂质除去后,才能用于这些领域。

除去石墨中杂质的通常做法是,把石墨化制品放入卤素气体中加热到约2000℃,杂质就被卤化成低沸点的卤化物而挥发除掉。

几乎所有的石墨化制品中的杂质元素均能用氯气卤化除掉。但是硼元素例外,它只能氟化除掉。用于提纯的卤素气体有氯气、氟气,或者是能在高温条件下分解产生这些气体的卤代烃,例如,四氯化碳(CCl4),二氯二氟甲烷(CCl2F2)。

这个提纯方法充分利用了石墨在高温下不与卤素发生反应,且石墨多孔的独有特性。

等静压石墨的主要用途

直拉单晶硅热场和多晶硅铸锭炉用加热器

在直拉单晶硅热场中,等静压石墨部件有坩埚、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转坩埚用的底座、各种圆板、热反射板等约30种。

其中,80%的等静压石墨用于制造坩埚和加热器等。近年来,对单晶硅棒的直径要求越来越大,300mm晶片的生产日益成为主流。

与此相应,单晶炉加热区的直径大多为800mm,炉内的石墨坩埚为了保护放置其中的石英坩埚,直径达到了860mm,加热器直径约960~1000mm,其他部件的直径有的最大达到了1500mm。

从2003年开始,人们对地球居住环境的保护意识逐渐增强,人们越来越青睐不排放二氧化碳的自然能源。在这种趋势下,太阳能电池的生产急增。

在太阳能电池多晶硅片的制造过程中,首先要将多晶硅碎块熔铸成多晶硅方锭。其中铸锭炉的加热器需要用等静压石墨来制作。

原子能工业

近年来,全球气候变暖。人们认为化石燃料的使用所产生的二氧化碳正是导致这个问题的主要原因。最近几年,虽然发展中国家的经济成长取得了举世瞩目的成果,但是电力不足的问题却深深地困扰着这些国家。

在这样的情况下,人们的眼光转向了能流密度远远高于太阳能电池和风力发电,且不排放二氧化碳和硫氧化物的原子能发电。

主营产品:蝶阀,止回阀,闸阀,隔膜阀,疏水阀